扫描电子显微镜是一种高分辨率成像工具,相较于普通电子显微镜,它更适合于表面分析,能够观察样品表面的微细结构及特性。
扫描电子显微镜工作原理主要通过向样品表面辐射出高能电子,然后将电子与样品表面反射出来的电子进行比较,进而产生二维图像,其实像一次光的照射和反射。扫描电子显微镜的分辨率是由高能电子束波长所决定的,而电子的波长极短,达到了纳米级别,理论分辨率可达到0.1纳米,所以扫描电子显微镜具有高分辨率、高放大倍数、高深度和物理尺寸的综合优点。
除此之外,扫描电子显微镜还有显著的局部成像优势。由于横向扫描和纵向控制的极高精度,扫描电子显微镜能够在一个图像上同时得到多个数据点的信号。于是,就可以绘制出三维比较精细的表面形貌和形状信息,另外扫描电子显微镜还能有效地进行各种成分的深度分布、显微结构的表征和分析等等,广泛应用在材料科学、生物学、化学、半导体等领域中。